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◆性能特點:
小型化及可拆卸化設計,非常便于攜帶及教學。激光檢測頭和樣品掃描臺集成一體,結構非常穩(wěn)定,抗干擾性強。
精密探針定位裝置,激光光斑對準調節(jié)非常簡便。
單軸驅動樣品自動垂直接近探針,使針尖垂直于樣品掃描。
馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品。
自動光學定位,無需調焦,實時觀測與定位探針樣品掃描區(qū)域。
彈簧懸掛式防震方式,簡單實用,防震效果好。集成掃描器非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%。
◆測量范圍及應用:
測量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。
應用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。
◆ 應用案例 Application Case
序號
名稱
技術參數
01
工作模式
輕敲模式、RMS-Z曲線
02
選配模式
接觸、摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力
03
選配力曲線
F-Z力曲線
04
XY掃描范圍
20×20um,可選50×50um,100×100um
05
Z掃描范圍
2.5um,可選5um,10um
06
掃描分辨率
橫向0.2nm,縱向0.05nm
07
樣品尺寸
Φ≤90mm,H≤20mm
08
樣品臺行程
15×15mm
09
光學觀察
4X光學物鏡/2.5um分辨率
10
掃描速率
0.6Hz~30Hz
11
掃描角度
0~360°
12
運行環(huán)境
Windows XP/7/8/10操作系統(tǒng)
13
通信接口
USB2.0/3.0
14
減震設計
彈簧懸掛方式